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大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

鍍膜儀器
提高觀察效果
可大批量樣品同時使用
在封閉腔室中，放置陽極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽極和陰極之間加載高壓，會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散，在磁力的束縛下在一定范圍內沉積，最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀察效果。平時使用時，最常見靶材的是金靶。正是這個原因，離子濺射儀也俗稱“噴金儀”。然而，為了獲得更細小的晶粒尺寸、更薄的連續(xù)鍍層，有時候也會使用其他靶材（比如鉻、鉑金、銅）。
全國服務熱線
400-8866-090
留言資訊
  • 產(chǎn)品概述
  • 技術參數(shù)
  • 選型指南
  • 視頻介紹

大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

鍍膜儀器
提高觀察效果
可大批量樣品同時使用
在封閉腔室中，放置陽極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽極和陰極之間加載高壓，會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散，在磁力的束縛下在一定范圍內沉積，最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀察效果。平時使用時，最常見靶材的是金靶。正是這個原因，離子濺射儀也俗稱“噴金儀”。然而，為了獲得更細小的晶粒尺寸、更薄的連續(xù)鍍層，有時候也會使用其他靶材（比如鉻、鉑金、銅）。
全國服務熱線
400-8866-090
留言資訊
大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A
產(chǎn)品概述

技術參數(shù)
配置
詳細參數(shù)說明
樣品腔尺寸
直徑300mm*高度130mm
低真空度
極限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa
高真空度
極限真空度：＜10-3Pa，工作真空度：0.1-2Pa
靶材尺寸
規(guī)格：直徑57mmx0.1mm厚，數(shù)量：2個
樣品臺轉速
4-20rmp
抽速
66L/min
濺射電流
1-500mA，連續(xù)可調
濺射時間
1-999s，連續(xù)可調
保護氣
氬氣
選型指南

選型指南

視頻介紹

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